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日本ORC 激光加工設備Exa-MS5

貨號: #Exa-MS5

庫存: 100

日本ORC、半導體用光刻設備、激光加工設備、臭氧發生模塊

規格選項:

日本ORC  激光加工設備Exa-MS5 

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兼容多種光刻技術:可兼容 WL-CSP、IGBT、CIS 等 6/8/12 英寸光刻技術,適用于多種半導體器件的制造。

寬頻譜光刻功能:具備寬帶曝光能力,可根據配方自動切換 GHI 線、I 線等光刻波長,通過與菜單連動,實現 ghi - Line、gh - line、i - line 的自動切換,滿足不同光刻工藝對波長的要求。

可變 NA 功能:搭載可變 NA(數值孔徑)功能,能夠在 0.16 和 0.1 之間切換,可根據不同的光刻精度需求調整光學系統的分辨率。

高精度光刻:分辨率可達 2.0μmL/s(2.0μm 抗蝕劑厚度),疊加精度≦0.5 微米(|Ave| + 3σ),能夠實現高精度的半導體圖案光刻。

光罩設計格式多樣:支持多達 8 場光罩設計格式,為復雜的半導體芯片設計提供了更多的靈活性。

光學系統保護:光學元件能夠免受周圍環境中的阻滯氣體和化學物質的影響,保證了光刻設備的穩定性和光刻質量。


半導體用光刻設備

PPS-8200P1

PPS-8300P1

PPS-8500


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