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日本ORC 光刻機 MMS 系列MMS810D

貨號: #MMS810D

庫存: 100

日本ORC、半導(dǎo)體用光刻設(shè)備、激光加工設(shè)備、臭氧發(fā)生模塊

規(guī)格選項:

日本ORC光刻機 MMS 系列MMS810D

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兼容多種光刻技術(shù):可兼容 WL-CSP、IGBT、CIS 等 6/8/12 英寸光刻技術(shù),適用于多種半導(dǎo)體器件的制造。

寬頻譜光刻功能:具備寬帶曝光能力,可根據(jù)配方自動切換 GHI 線、I 線等光刻波長,通過與菜單連動,實現(xiàn) ghi - Line、gh - line、i - line 的自動切換,滿足不同光刻工藝對波長的要求。

可變 NA 功能:搭載可變 NA(數(shù)值孔徑)功能,能夠在 0.16 和 0.1 之間切換,可根據(jù)不同的光刻精度需求調(diào)整光學(xué)系統(tǒng)的分辨率。

高精度光刻:分辨率可達(dá) 2.0μmL/s(2.0μm 抗蝕劑厚度),疊加精度≦0.5 微米(|Ave| + 3σ),能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的半導(dǎo)體圖案光刻。

光罩設(shè)計格式多樣:支持多達(dá) 8 場光罩設(shè)計格式,為復(fù)雜的半導(dǎo)體芯片設(shè)計提供了更多的靈活性。

光學(xué)系統(tǒng)保護(hù):光學(xué)元件能夠免受周圍環(huán)境中的阻滯氣體和化學(xué)物質(zhì)的影響,保證了光刻設(shè)備的穩(wěn)定性和光刻質(zhì)量。


日本ORC  臭氧發(fā)生模塊

ARV-M001D

ARV-M005D

ARV-M020D

ARV-M050D 

ARV-M100D/A 

ARV-M300D/A

ARV-M500A

ARV-M1000A


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